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Einleitung

Bei einem großen Hersteller von Siliziumscheiben für Mikroprozessoren kam es zu Ausfällen der mit NSK Wälzlagern ausgestatteten Vakuumpumpen. Dies machte eine Strategie zur proaktiven Wartung erforderlich. Der Kunde zog NSK zurate, woraufhin ein AIP-Experte vor Ort eine vollständige Prüfung der Anlage im Rahmen des Condition-Monitoring-Service (CMS) durchführte. Mithilfe des CMS-Equipments konnte der Anlagenzustand umfassend dokumentiert werden. Über mehrere Monate unterstützte NSK den Kunden mittels einer Messwertanalyse dabei, eine Strategie zur vorbeugenden Wartung zu entwickeln. Der Kunde erwarb das gleiche CMS-Equipment, das von NSK genutzt wurde, um eigenständig Messungen durchzuführen und die Ergebnisse von NSK Experten analysieren zu lassen. So konnten weitere unvorhersehbare Pumpenausfälle, die einen erheblichen und kostspieligen Ausschuss verursacht hätten, vermieden werden.

Fakten

  • Vakuumpumpe für die Herstellung von Siliziumscheiben für Mikroprozessoren

  • Strategie zur vorbeugenden Wartung erforderlich

  • NSK Lösung: Condition-Monitoring-Service (CMS) zur Unterstützung des Kunden bei der Entwicklung einer Strategie zur vorbeugenden Wartung

  • Proaktive Wartung und Vermeidung von Ausfällen durch frühzeitiges Erkennen von Pumpenproblemen

  • Integriertes NSK Konzept, bei dem sowohl die Lagerausführungen für anspruchsvolle Vakuumpumpen als auch eine langfristige Kundenbetreuung berücksichtigt werden

  • Künftige Zusammenarbeit wird durch fortlaufende Unterstützung und eigenes Equipment für die Schwingungsanalyse ermöglicht

  • Ebara Vakuumpumpe
  • Condition Monitoring Service (CMS)

Optimierungsvorschläge

  • Pumpenausfälle während des laufenden Betriebs verursachten hohe Kosten; NSK wurde gebeten, die Ursache für die Lagerausfälle zu ermitteln

  • NSK führte bei den übrigen Pumpen eine Schwingungsanalyse durch

  • Mithilfe des CMS von NSK wurde die Anlage vollständig untersucht und eine Zustandsübersicht erstellt

  • So konnte NSK gemeinsam mit dem Kunden eine Strategie zur proaktiven Wartung entwickeln

  • Mehrere CMS-Überprüfungen wurden durchgeführt, die auch Trendanalysen und Prognosen über vorzeitige Ausfälle umfassten

  • Zudem wurde empfohlen, alle Pumpen mit hohen Schwingungspegeln und Ausfallrisiko zu überwachen, um sie rechtzeitig ersetzen zu können

  • Die CMS-Unterstützung wird fortgesetzt, solange der Kunde diesbezüglich eigene Kompetenzen entwickelt

Produkteigenschaften

  • Bewertung des Maschinenzustands während des Betriebs
  • Prognose der Lebensdauer kritischer Komponenten in einer Maschine und damit bessere Wartungsplanung
  • Frühzeitige Warnung vor Störungen von Maschinen. Condition-Monitoring ist die filigranste und umfassendste Methode zur Erkennung von Maschinenverschleiß
  • Vor-Ort-Unterstützung durch Ingenieure von NSK

  • Gewissheit, dass NSK als Komplettanbieter entscheidende Wälzlager- und Linear-Lösungen bereitstellen kann

  • Leistungsverbesserungen und Betriebskosteneinsparungen

Analyse der Kosteneinsparungen

Kosten p.a.
Dank des CMS-Konzepts von NSK konnten die Maschinenprobleme erkannt und schwerwiegende Ausfälle vermieden werden.
Die Produktkosten betragen 35.900 € pro Einheit; die Fertigungslinie ist für 200 Einheiten ausgelegt. 
€ 7.180.000
Die Herstellung erfolgt vollständig unter Vakuum, das bei einem technischen Defekt nicht aufrecht erhalten werden kann. Schon 5 µm kleine Verunreinigungen aus der Luft können das Produkt unbrauchbar machen. 
Gesamtkosten NSK Lösung

Referenz Nr:SS-D-2091

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